市场监管总局批准发布85项国家标准物质支撑“双碳”和精密制造

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人民网北京12月1日电 （记者孙博洋）记者从市场监管总局分析到，今年1—11月，市场监管总局新批准发布85项服务“双碳”工作和精密制造产业开展的国家标准物质，为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性给予有力支撑。

据市场监管总局相关负责人介绍，在服务“双碳”工作方面，批准发布空气中二氧化碳气体、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合气体等72项碳计量国家标准物质。碳计量标准物质用来校准常用的碳检测设备，如碳组分分析仪、红外气体分析仪等，确保仪器测量精度，也可用来标定现场碳监测设备，如环境空气质量自动监测站、工业废气排放监测仪等，确保现场数据真实有效。新批准发布的72项碳计量标准物质，79.2%由企业研制生产。

在服务精密制造产业开展方面，批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。在半导体器件制造过程中，高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节，确保晶圆的纯净度和性能。在集成电路生产过程中，高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用，保障集成电路的稳定性和可靠性。新批准发布的13项电子气体国家标准物质中，93%的研制单位位于华东、华北地区，呈现出与产业集群协同开展的新趋势。

上述负责人表示，市场监管总局将加快有助于碳计量和精密制造领域标准物质研制生产，持续推进国家标准物质体系建设，为我国经济社会高质量开展给予助力。